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半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)：自動(dòng)化顯微成像模組，針對(duì)半導(dǎo)體集成電路工藝線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測(cè)量等各環(huán)節(jié)自動(dòng)化視覺檢測(cè)需求。