三維表面形貌測量儀這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。

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更新時間：2024-05-20

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隨著半導體技術的電子技術工藝的發展，電子產品都往小型化，輕薄化發展。iWatch的一經推出，穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。

卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（利號：CN207556477U）。該項技術，具有以下優點：

技術	線性共焦光譜技術	點測技術	激光掃描	3D相機
速度	1000 line/s	1000 point/s	1000 line/s	多角度拍照快
掃描寬度	6.5mm/20mm	點	可選	大
分辨率	1um	1um	30um	100um
界面層數	多層	多層	表面	表面
建模	否	否	否	是
數據量	大	大	少	少

三維表面形貌測量儀主要特點有：

1、非接觸性測量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級精度；

4、滿足透明面及高對比度表面測試；

5、支持二次開發；

三維表面形貌測量儀主要應用

1、精密部件3D尺寸及段差測試；

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；

3、3D玻璃缺陷檢測；

4、半導體表面缺陷測試；

5、多層薄膜厚度測試；

3D形貌測試儀產品型號及規格

	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光譜	共焦光譜
精度	1um	8um
重復性	±0.3um	±4um
線掃寬度	6.5mm	20mm
Z軸量程范圍	1.3mm	5mm
掃描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm

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