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光致熒光光譜測量是半導(dǎo)體材料特性表征的一個被普遍認(rèn)可的重要測量手段。MiniPL為模塊化設(shè)計(jì)、計(jì)算機(jī)自動控制的高靈敏度、寬帶隙小型PL（光致熒光）光譜儀；MiniPL采用Photon Systems公司自行研發(fā)的深紫外激光器224nm（5.5eV）或248.6nm（5eV）作為激發(fā)光源，配合*的光路設(shè)計(jì)，采用高靈敏度PMT作為探測器件，并通過儀器內(nèi)置的門閘積分平均器（Boxcar）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)微弱脈沖信號的檢測。MiniPL可被用表征半導(dǎo)體材料摻雜水平分析、合成組分分析、帶隙分析等，不僅可用于科研領(lǐng)用，更可用在半導(dǎo)體LED產(chǎn)業(yè)中的品質(zhì)檢測。
主要規(guī)格特點(diǎn)：
■ 采用5.5（224nm）或5.0 eV（248.6nm）深紫外激光器
■ 室溫PL光譜測量范圍：190~650nm（標(biāo)準(zhǔn)），190~850nm（選配）
■ 高分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵，標(biāo)配），
0.07nm（@3600g/mm光柵，選配）
■ 門閘積分平均器（Boxcar）進(jìn)行微弱脈沖信號的檢測
■ 可實(shí)現(xiàn)量子效率測量
■ 基于LabView的界面控制
■ 光譜分析軟件可獲得光譜帶寬、峰值波長、峰值副瓣鑒別、光譜數(shù)據(jù)運(yùn)算、歸一化等
■ 大可測量50mm直徑樣品，樣品可實(shí)現(xiàn)XYZ三維手動調(diào)整（標(biāo)準(zhǔn)）
■ 可選配自動樣品掃描裝置，實(shí)現(xiàn)Mapping功能
■ 可用于紫外拉曼光譜測量
■ 高度集成化，體積：15 ×18 × 36cm，重量：<8kg
| 型號 | 規(guī)格描述 |
| MiniPL 5.0eV | NeCu激光器（248.6nm）,三維手動調(diào)節(jié)樣品臺，單光柵 |
| MiniPL 5.5eV | HeAg激光器（224.0nm） ,三維手動調(diào)節(jié)樣品臺，單光柵 |
| 升級選項(xiàng) | |
| 光電倍增管選項(xiàng) | 升級為190-850nm |
| 光柵選項(xiàng) | 增加第二塊光柵（3600g/mm） |
| Mapping功能選項(xiàng) | 升級為X-Y自動掃描樣品臺 |
| 低溫制冷選項(xiàng) | 4K，6.5K，10K低溫制冷樣品室，低震動設(shè)計(jì)，振幅小于5nm （選配低溫選項(xiàng)時不能同時進(jìn)行Mapping測量） |
AlGaN光致發(fā)光光譜及PL Mapping光譜（含3D圖譜），樣品尺寸：直徑50mm（樣品由客戶提供）
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