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壓電位移臺是一種基于壓電效應實現(xiàn)微小位移精確控制的裝置，在現(xiàn)代科研和工業(yè)領域應用廣泛。
1. 工作原理：當在壓電材料上施加電壓時，材料內部的正負電荷會重新分布，產生應力，進而使材料發(fā)生形變。通過精確控制施加的電壓，可以實現(xiàn)對壓電位移臺位移量的精確控制。
2. 結構組成：通常由壓電陶瓷、機械結構和控制電路組成。壓電陶瓷是實現(xiàn)位移的核心部件；機械結構用于將壓電陶瓷的微小形變轉化為可利用的位移輸出，如采用柔性鉸鏈連接等方式，確保精確導向；控制電路則根據需要的位移大小和方向來調節(jié)電壓的大小和頻率。
3. 主要特點：具有位移分辨率高，可達納米級；響應速度快，能在毫秒級時間內完成位移操作；定位精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。此外，通過壓電慣性驅動機制，還可實現(xiàn)穩(wěn)定、可自鎖的長行程運動。
4. 主要類型：從運動維度上可分為單軸、雙軸和三軸位移臺等。單軸位移臺可在單個維度上提供精確定位，雙軸和三軸位移臺則可在兩個或三個維度上實現(xiàn)平移或偏轉。從控制方式上可分為開環(huán)和閉環(huán)位移臺，閉環(huán)位移臺內部增配了閉環(huán)傳感器，用于檢測位移臺本身實際產生的位移量，定位精度更高。
5. 應用領域：在精密儀器、光學設備中，可用于精密調整光學元件的位置，實現(xiàn)光束的精確控制；在半導體制造領域，用于精確控制加工工具的位置，確保芯片制造的精度；在生物醫(yī)學領域，用于顯微鏡的樣品臺，實現(xiàn)細胞的精確定位和觀察等。
壓電位移臺產品推薦
卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高科技企業(yè)，在光電儀器領域具有較高的知*度和良好的聲譽。自 1999 年成立以來，卓立漢光不斷發(fā)展壯大，其電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產品已形成產品系列化、規(guī)格多元化。2005 年 10 月，在同行業(yè)中率*通過 ISO9001 質量管理體系 SGS 國際認證。2019 年至 2022 年，公司多次入選專精特新 “小巨人" 企業(yè)名單，彰顯了其在技術創(chuàng)新和專業(yè)化發(fā)展方面的實力。
卓立漢光的 LSxxX.lab.O/R 系列壓電納米線性位移臺具有以下優(yōu)勢：
· 高精度控制：采用閉環(huán)控制，光學型傳感分辨率默認可達 10nm，還可選更高精度，電阻型傳感分辨率為 100-200nm，最小步伐約 10nm。
· 運行安靜：驅動頻率為 20kHz，運行時超安靜，適合對噪音敏感的實驗環(huán)境。
· 設計緊湊：有多種尺寸可選，如 LS65x.Lab.O/R 底面尺寸為 65×65mm×12mm，節(jié)省安裝空間，便于集成。
· 環(huán)境適應性強：支持無磁（.NM）、高真空（.HV）和超高真空（.UHV）選件，可滿足多種特殊環(huán)境需求。
· 兼容性好：可提供多軸堆疊安裝轉接件，控制器兼容旋轉臺、搖擺臺，能與其他設備協(xié)同工作。
· 性能良好：以 LS65x.Lab.O/R 為例，運動行程 30mm，最大速度約 20mm/s，最大水平推力 2N，保持力 5N。
